Mikrosensorik : Eine Einf�hrung in Technologie Und Physikalische Wirkungsprinzipien Von Mikrosensoren

Thomas Elbel
Vieweg+teubner Verlag
9783528033774
3-528-03377-0

Das Lehrbuch behandelt fr alle mikrosystemtechnischen Sensoren die gemeinsamen technologischen Grundlagen. Darauf aufbauend werden die wichtigsten Sensoren, nach Art der Megre geordnet, beschrieben. Das.

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Buch wendet sich an Studenten der Metechnik sowie an Ingenieure, die sich in das Fachgebiet einarbeiten wollen.